VIBRATION SENSOR

The purpose of the present invention is to obtain a vibration sensor suitable for improving vibration sensing precision. The vibration sensor according to one aspect of the present invention is characterized by having: a substrate having a first main surface and a second main surface disposed on a side opposite to the first main surface; a piezoelectric element disposed on the second main surface; and an electroconductive film disposed on the first main surface. L'objectif de la présente invention est d'obtenir un capteur de vibration approprié pour améliorer la précision de détection de vibration. Le capteur de vibration selon un aspect de la présente invention est caractérisé par le fait qu'il comprend : un substrat ayant une première surface principale et une seconde surface principale disposée sur un côté opposé à la première surface principale ; un élément piézoélectrique disposé sur la seconde surface principale ; et un film électroconducteur disposé sur la première surface principale. 振動の検知精度を向上させることに適した振動センサを得ること。本発明の１つの側面に係る振動センサは、第１主面と前記第１主面の反対側に配された第２主面とを有する基板と、前記第２主面に配された圧電素子と、前記第１主面に配される導電膜とを有することを特徴とする。