SUBSTRATE CARRIER

Embodiments of a substrate carrier are provided herein. In some embodiments, a substrate carrier includes a base plate, wherein the base plate is a thin, solid plate with no through holes or embedded components; and a plurality of raised portions extending from the base plate, wherein the plurality of raised portions include first raised portions and second raised portions, the first raised portions disposed radially inward from the second raised portions, wherein the base plate and the plurality of raised portions define pockets configured to retain a plurality of substrates, and wherein an upper surface of the second raised portions have a greater surface area than an upper surface of the first raised portions. La présente invention concerne des modes de réalisations d'un support de substrats. Dans certains modes de réalisation, un support de substrats comprend une plaque de base, la plaque de base étant une plaque mince et pleine, dépourvue de trous traversants ou de composants intégrés ; et une pluralité de parties saillantes s'étendant à partir de la plaque de base, la pluralité de parties saillantes comprenant des premières parties saillantes et des secondes parties saillantes, les premières parties saillantes étant disposées radialement vers l'intérieur par rapport aux secondes parties saillantes, la plaque de base et la pluralité de parties saillantes définissant des poches configurées pour retenir une pluralité de substrats, et une surface supérieure des secondes parties saillantes ayant une aire supérieure à celle d'une surface supérieure des premières parties saillantes.