HIGH-SPEED METROLOGY

A method and an apparatus are directed to characterizing a continuously moving 3D object via interferometry -based scanning. The method includes repeatedly forming several depth characterizations of the 3D object along respective scan lines of a plurality of scan lines on the surface of the 3D object. During this scanning, the 3D object is undergoing its continuous motion. The method further includes combining the determined depth characterization along the scan lines of the plurality of scan lines to form a depth map representing at least a depth of a portion associated with a location on the surface of the 3D object in the third direction on a grid of locations arranged in the first and second directions. Forming the depth characterizations includes scanning a frequency-dispersed pulsed optical signal in a first direction across the continuously moving 3D object, said 3D object moving in a second direction substantially orthogonal to the first direction. The scanned optical signal forming scan lines on a surface of the 3D object in a third direction substantially orthogonal to the first direction and the second direction. L'invention concerne un procédé et un appareil destinés à caractériser un objet 3D animé d'un déplacement continu par balayage fondé sur l'interférométrie. Le procédé comprend la formation répétée de plusieurs caractérisations de profondeur de l'objet 3D le long de lignes de balayage respectives d'une pluralité de lignes de balayage sur la surface de l'objet 3D. Pendant ce balayage, l'objet 3D effectue son mouvement continu. Le procédé comprend en outre une étape consistant à combiner la caractérisation de profondeur déterminée le long des lignes de balayage de la pluralité de lignes de balayage afin de former une carte de profondeurs représentant au moins une profondeur d'une partie associée à un emplacement sur la surface de l'objet 3D dans la troisième direction sur une grille d'emplacements agencés dans la première et la deuxième direction. La formation des caractérisations de profondeur comprend une étape consistant à effectuer un balayage avec un signal optique pulsé dispersé en fréquence dans une première direction à travers l'objet 3D animé d'un mouvement continu, ledit objet 3D se déplaçant dans une deuxième direction sensiblement orthogonale à la première direction. Le signal optique de balayage forme des lignes de balayage sur une surface de l'objet 3D dans une troisième direction sensiblement orthogonale à la première direct