MEMBRANE-BASED NANO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICE AND METHODS TO MAKE AND USE SAME

Nano-electromechanical systems (NEMS) devices that utilize thin electrically conductive membranes, which can be, for example, graphene membranes. The membrane-based NEMS devices can be used as sensors, electrical relays, adjustable angle mirror devices, variable impedance devices, and devices performing other functions. The NEMS devices have a serpentine shape arrangement of the electrically conductive membrane. The electrically conductive membrane can be controllably wicked down on the edge of the oxide cavity to increase sensitivity of the NEMS device. L'invention concerne des dispositifs nano-électromécaniques (NEMS) qui utilisent des membranes minces électroconductrices, qui peuvent être, par exemple, des membranes en graphène. Les dispositifs NEMS à membrane peuvent être utilisés en tant que capteurs, relais électriques, dispositifs à miroir à angle réglable, dispositifs à impédance variable et dispositifs effectuant d'autres fonctions. Les dispositifs NEMS ont un agencement en forme de serpentin de la membrane électroconductrice. La membrane électroconductrice peut être glissée de manière contrôlable vers le bas sur le bord de la cavité d'oxyde pour augmenter la sensibilité du dispositif NEMS.