METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS- Element bereit, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer Funktionsschicht mit einem Funktionsbereich, - Herstellen einer Kaverne unterhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht mittels eines ersten Zugangs auß...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre ; ger |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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| creator | SCHMOLLNGRUBER, Peter FRIEDRICH, Thomas MENOLD, Tobias Joachim ARTMANN, Hans AMETOWOBLA, Mawuli WEBER, Heribert HERMES, Christoph |
| description | Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS- Element bereit, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer Funktionsschicht mit einem Funktionsbereich, - Herstellen einer Kaverne unterhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht mittels eines ersten Zugangs außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Verschließendes ersten Zugangs, - Herstellen eines zweiten Zugangs zur Kaverne außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Aufschmelzen von Verschlussmaterial im Bereich des zweiten Zugangs, und - Abkühlen des aufgeschmolzenen Verschlussmaterials zum Verschließen des zweiten Zugangs.
The invention relates to a method for sealing accesses in a MEMS element, comprising the steps - providing a functional layer having a functional area, - producing a cavern beneath the functional area of the functional layer by means of a first access outside the functional area of the functional layer, - sealing the first access, - producing a second access to the cavern outside the functional area of the functional layer, - melting sealing material in the area of the second access, and - cooling the molten sealing material to seal the second access.
L'invention concerne un procédé pour la fermeture d'accès dans un élément MEMS, comprenant les étapes consistant - à fournir une couche fonctionnelle présentant une zone fonctionnelle, - à réaliser un creux sous la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle par l'intermédiaire d'un premier accès en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à fermer le premier accès, - à réaliser un deuxième accès vers le creux en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à faire fondre un matériau de scellement au niveau du deuxième accès et - à refroidir le matériau de scellement fondu pour fermer le deuxième accès. |
| format | Patent |
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The invention relates to a method for sealing accesses in a MEMS element, comprising the steps - providing a functional layer having a functional area, - producing a cavern beneath the functional area of the functional layer by means of a first access outside the functional area of the functional layer, - sealing the first access, - producing a second access to the cavern outside the functional area of the functional layer, - melting sealing material in the area of the second access, and - cooling the molten sealing material to seal the second access.
L'invention concerne un procédé pour la fermeture d'accès dans un élément MEMS, comprenant les étapes consistant - à fournir une couche fonctionnelle présentant une zone fonctionnelle, - à réaliser un creux sous la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle par l'intermédiaire d'un premier accès en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à fermer le premier accès, - à réaliser un deuxième accès vers le creux en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à faire fondre un matériau de scellement au niveau du deuxième accès et - à refroidir le matériau de scellement fondu pour fermer le deuxième accès.</description><language>eng ; fre ; ger</language><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2020</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200625&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020126922A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200625&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020126922A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>SCHMOLLNGRUBER, Peter</creatorcontrib><creatorcontrib>FRIEDRICH, Thomas</creatorcontrib><creatorcontrib>MENOLD, Tobias Joachim</creatorcontrib><creatorcontrib>ARTMANN, Hans</creatorcontrib><creatorcontrib>AMETOWOBLA, Mawuli</creatorcontrib><creatorcontrib>WEBER, Heribert</creatorcontrib><creatorcontrib>HERMES, Christoph</creatorcontrib><title>METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT</title><description>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS- Element bereit, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer Funktionsschicht mit einem Funktionsbereich, - Herstellen einer Kaverne unterhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht mittels eines ersten Zugangs außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Verschließendes ersten Zugangs, - Herstellen eines zweiten Zugangs zur Kaverne außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Aufschmelzen von Verschlussmaterial im Bereich des zweiten Zugangs, und - Abkühlen des aufgeschmolzenen Verschlussmaterials zum Verschließen des zweiten Zugangs.
The invention relates to a method for sealing accesses in a MEMS element, comprising the steps - providing a functional layer having a functional area, - producing a cavern beneath the functional area of the functional layer by means of a first access outside the functional area of the functional layer, - sealing the first access, - producing a second access to the cavern outside the functional area of the functional layer, - melting sealing material in the area of the second access, and - cooling the molten sealing material to seal the second access.
L'invention concerne un procédé pour la fermeture d'accès dans un élément MEMS, comprenant les étapes consistant - à fournir une couche fonctionnelle présentant une zone fonctionnelle, - à réaliser un creux sous la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle par l'intermédiaire d'un premier accès en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à fermer le premier accès, - à réaliser un deuxième accès vers le creux en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à faire fondre un matériau de scellement au niveau du deuxième accès et - à refroidir le matériau de scellement fondu pour fermer le deuxième accès.</description><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2020</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZND1dQ3x8HdRcPMPUgh2dfTx9HNXcHR2dg0Odg1W8PRTcFTwdfUNVnD1cfV19QvhYWBNS8wpTuWF0twMym6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXx4f5GBkYGhkZmlkZGjobGxKkCAB6AJeE</recordid><startdate>20200625</startdate><enddate>20200625</enddate><creator>SCHMOLLNGRUBER, Peter</creator><creator>FRIEDRICH, Thomas</creator><creator>MENOLD, Tobias Joachim</creator><creator>ARTMANN, Hans</creator><creator>AMETOWOBLA, Mawuli</creator><creator>WEBER, Heribert</creator><creator>HERMES, Christoph</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20200625</creationdate><title>METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT</title><author>SCHMOLLNGRUBER, Peter ; FRIEDRICH, Thomas ; MENOLD, Tobias Joachim ; ARTMANN, Hans ; AMETOWOBLA, Mawuli ; WEBER, Heribert ; HERMES, Christoph</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2020126922A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre ; ger</language><creationdate>2020</creationdate><topic>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>SCHMOLLNGRUBER, Peter</creatorcontrib><creatorcontrib>FRIEDRICH, Thomas</creatorcontrib><creatorcontrib>MENOLD, Tobias Joachim</creatorcontrib><creatorcontrib>ARTMANN, Hans</creatorcontrib><creatorcontrib>AMETOWOBLA, Mawuli</creatorcontrib><creatorcontrib>WEBER, Heribert</creatorcontrib><creatorcontrib>HERMES, Christoph</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>SCHMOLLNGRUBER, Peter</au><au>FRIEDRICH, Thomas</au><au>MENOLD, Tobias Joachim</au><au>ARTMANN, Hans</au><au>AMETOWOBLA, Mawuli</au><au>WEBER, Heribert</au><au>HERMES, Christoph</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT</title><date>2020-06-25</date><risdate>2020</risdate><abstract>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS- Element bereit, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer Funktionsschicht mit einem Funktionsbereich, - Herstellen einer Kaverne unterhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht mittels eines ersten Zugangs außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Verschließendes ersten Zugangs, - Herstellen eines zweiten Zugangs zur Kaverne außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Aufschmelzen von Verschlussmaterial im Bereich des zweiten Zugangs, und - Abkühlen des aufgeschmolzenen Verschlussmaterials zum Verschließen des zweiten Zugangs.
The invention relates to a method for sealing accesses in a MEMS element, comprising the steps - providing a functional layer having a functional area, - producing a cavern beneath the functional area of the functional layer by means of a first access outside the functional area of the functional layer, - sealing the first access, - producing a second access to the cavern outside the functional area of the functional layer, - melting sealing material in the area of the second access, and - cooling the molten sealing material to seal the second access.
L'invention concerne un procédé pour la fermeture d'accès dans un élément MEMS, comprenant les étapes consistant - à fournir une couche fonctionnelle présentant une zone fonctionnelle, - à réaliser un creux sous la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle par l'intermédiaire d'un premier accès en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à fermer le premier accès, - à réaliser un deuxième accès vers le creux en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à faire fondre un matériau de scellement au niveau du deuxième accès et - à refroidir le matériau de scellement fondu pour fermer le deuxième accès.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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