METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS- Element bereit, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer Funktionsschicht mit einem Funktionsbereich, - Herstellen einer Kaverne unterhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht mittels eines ersten Zugangs auß...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SCHMOLLNGRUBER, Peter, FRIEDRICH, Thomas, MENOLD, Tobias Joachim, ARTMANN, Hans, AMETOWOBLA, Mawuli, WEBER, Heribert, HERMES, Christoph
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS- Element bereit, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer Funktionsschicht mit einem Funktionsbereich, - Herstellen einer Kaverne unterhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht mittels eines ersten Zugangs außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Verschließendes ersten Zugangs, - Herstellen eines zweiten Zugangs zur Kaverne außerhalb des Funktionsbereichs der Funktionsschicht, - Aufschmelzen von Verschlussmaterial im Bereich des zweiten Zugangs, und - Abkühlen des aufgeschmolzenen Verschlussmaterials zum Verschließen des zweiten Zugangs. The invention relates to a method for sealing accesses in a MEMS element, comprising the steps - providing a functional layer having a functional area, - producing a cavern beneath the functional area of the functional layer by means of a first access outside the functional area of the functional layer, - sealing the first access, - producing a second access to the cavern outside the functional area of the functional layer, - melting sealing material in the area of the second access, and - cooling the molten sealing material to seal the second access. L'invention concerne un procédé pour la fermeture d'accès dans un élément MEMS, comprenant les étapes consistant - à fournir une couche fonctionnelle présentant une zone fonctionnelle, - à réaliser un creux sous la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle par l'intermédiaire d'un premier accès en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à fermer le premier accès, - à réaliser un deuxième accès vers le creux en dehors de la zone fonctionnelle de la couche fonctionnelle, - à faire fondre un matériau de scellement au niveau du deuxième accès et - à refroidir le matériau de scellement fondu pour fermer le deuxième accès.