STAGE APPARATUS
The invention relates to a stage apparatus comprising: an object table configured to hold a substrate, the object table comprising an electrode configured to be charged by a power source and an electrical connection configured to electrically connect the electrode to the power source, and an electri...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | The invention relates to a stage apparatus comprising: an object table configured to hold a substrate, the object table comprising an electrode configured to be charged by a power source and an electrical connection configured to electrically connect the electrode to the power source, and an electric field shield configured to shield at least a part of the electrical connection.
L'invention concerne un appareil d'étage comprenant : une table d'objet conçue pour maintenir un substrat, la table d'objet comprenant une électrode conçue pour être chargée par un bloc d'alimentation et une connexion électrique conçue pour connecter électriquement l'électrode au bloc d'alimentation, et un blindage contre les champs électriques conçu pour protéger au moins une partie de la connexion électrique. |
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