X-RAY TUBE AND X-RAY DETECTOR

Provided are an X-ray tube and an X-ray detector that can bring a target as close as possible to a sample. The X-ray tube comprises: an electron generation unit; an electron acceleration unit that accelerates electrons generated by the electron generation unit with a voltage; a target with which the...

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Hauptverfasser: MIZUTA, Masao, AWATA, Shogo, AOYAMA, Junichi
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided are an X-ray tube and an X-ray detector that can bring a target as close as possible to a sample. The X-ray tube comprises: an electron generation unit; an electron acceleration unit that accelerates electrons generated by the electron generation unit with a voltage; a target with which the accelerated electrons collide so that X-rays are generated; a tubular body part in which the electron generation unit is disposed; a narrow-tube part which has a smaller outer diameter than the tubular body part and communicates with the tubular body part, and through which the accelerated electrons pass the inside thereof along a longitudinal direction; and a magnetic field lens part that focuses the electrons passing through the inside of the narrow-tube part by means of a magnetic field, wherein the target is disposed at a tip portion of the narrow-tube part, and the distance from the electron generation unit to the target along the longitudinal direction of the narrow-tube part exceeds three times the largest outer diameter of the tubular body part from the electron generation unit to the target along the longitudinal direction of the narrow-tube part. L'invention concerne un tube à rayons X et un détecteur de rayons X qui peuvent amener une cible au plus près d'un échantillon. Le tube à rayons X comprend : une unité de génération d'électrons ; une unité d'accélération d'électrons qui accélère les électrons générés par l'unité de génération d'électrons avec une tension ; une cible avec laquelle les électrons accélérés entrent en collision de telle sorte que des rayons X sont générés ; une partie de corps tubulaire dans laquelle l'unité de génération d'électrons est disposée ; une partie de tube étroit qui a un diamètre extérieur plus petit que la partie de corps tubulaire et communique avec la partie de corps tubulaire, et à travers laquelle les électrons accélérés passent à l'intérieur de celle-ci le long d'une direction longitudinale ; et une partie de lentille de champ magnétique qui concentre les électrons passant à travers l'intérieur de la partie de tube étroit au moyen d'un champ magnétique, la cible étant disposée au niveau d'une partie de pointe de la partie de tube étroit, et la distance de l'unité de génération d'électrons à la cible le long de la direction longitudinale de la partie de tube étroit dépasse trois fois le plus grand diamètre extérieur de la partie de corps tubulaire de l'unité de génération d'électrons à la cible le long de la dire