CLEANING DEVICE

Provided is a cleaning device capable of removing a deposit, etc., that has adhered to an applicator, even an applicator in which a high-viscosity application solution is used. Specifically, a cleaning device for cleaning a deposit that has adhered to an applicator extending in one direction formed...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OKAMOTO, Shunichi, SUZUKI, Akio
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided is a cleaning device capable of removing a deposit, etc., that has adhered to an applicator, even an applicator in which a high-viscosity application solution is used. Specifically, a cleaning device for cleaning a deposit that has adhered to an applicator extending in one direction formed on a substrate-facing surface that faces a substrate, wherein: the cleaning device is equipped with a cleaning unit that comes into contact with the applicator, and a moving device that causes the cleaning unit to move relatively in the longitudinal direction of the applicator while in contact with the applicator; the cleaning unit is equipped with a first cleaning portion disposed on the front side of the cleaning movement direction, and a second cleaning portion disposed on the rear side of the first cleaning portion; the first cleaning portion has a first cleaning member that contacts the substrate-facing surface and an inclined side surface that is continuous with the substrate-facing surface in the applicator; the second cleaning portion has a second cleaning member that contacts the substrate-facing surface and the inclined side surface in the applicator; and the first cleaning member is configured so as to be formed from a highly rigid material that is less likely to be deformed along the contacting counterpart surface than the second cleaning member. L'invention concerne un dispositif de nettoyage susceptible d'enlever un dépôt et autres, qui a adhéré à un applicateur, même à un applicateur dans lequel une solution d'application de viscosité élevée est utilisée. Spécifiquement, l'invention concerne un dispositif de nettoyage pour nettoyer un dépôt qui a adhéré à un applicateur s'étendant dans une direction formée sur une surface faisant face à un substrat qui fait face à un substrat, le dispositif de nettoyage étant équipé d'une unité de nettoyage qui vient en contact avec l'applicateur et d'un dispositif de déplacement qui amène l'unité de nettoyage à se déplacer relativement dans la direction longitudinale de l'applicateur tout en étant en contact avec l'applicateur ; l'unité de nettoyage est équipée d'une première partie de nettoyage disposée sur le côté avant de la direction de déplacement de nettoyage et d'une seconde partie de nettoyage disposée sur le côté arrière de la première partie de nettoyage ; la première partie de nettoyage comporte un premier élément de nettoyage qui entre en contact avec la surface faisant face au substrat et une surface