SYSTEMS AND METHODS OF COOLING OBJECTIVE LENS OF A CHARGED-PARTICLE BEAM SYSTEM

Systems and methods for cooling an objective lens of a charged-particle beam system are disclosed. According to certain embodiments, the method for cooling an objective lens of a charged-particle beam system comprises receiving a fluid via a fluid input port of a bobbin, circulating the fluid that absorbs heat generated by a plurality of electromagnetic coils of the objective lens, via a plurality of channels distributed in the bobbin, and dispensing the fluid circulated by the plurality of channels via a fluid output port of the bobbin. The bobbin may further comprise a bottom flange proximal to a wafer and a top flange distal from the wafer. The bobbin having the plurality of channels may comprise an additively manufactured monolithic structure. La présente invention concerne des systèmes et des procédés de refroidissement d'une lentille d'objectif d'un système à faisceau de particules chargées. Selon certains modes de réalisation, le procédé de refroidissement d'une lentille d'objectif d'un système à faisceau de particules chargées consiste à recevoir un fluide par un orifice d'entrée de fluide d'une bobine, à faire circuler le fluide qui absorbe la chaleur produite par une pluralité de bobines électromagnétiques de la lentille d'objectif, par l'intermédiaire d'une pluralité de canaux répartis dans la bobine, et à distribuer le fluide mis en circulation par la pluralité de canaux par un orifice de sortie de fluide de la bobine. La bobine peut en outre comprendre une bride inférieure proximale à une tranche et une bride supérieure distale par rapport à la tranche. La bobine comportant la pluralité de canaux peut comprendre une structure monolithique fabriquée de manière additive.