PROCESS OPTIMIZATION USING DESIGN OF EXPERIMENTS AND RESPONSE SURFACE MODELS

Using measurements from a metrology tool, combinations of tool settings on the metrology tool can be determined. Candidates can then be determined and a response surface model can be generated for each of the candidates. A list of the candidates of the tool settings that provide a maximum response and that are least sensitive to sources of noise can then be determined from the response surface models. The list of the candidates can each be from a denser region of the response surface model. A l'aide de mesures effectuées à partir d'un outil de métrologie, des combinaisons de réglages d'outil sur l'outil de métrologie peuvent être déterminées. Des candidats peuvent ensuite être déterminés et un plan de surface de réponse peut être généré pour chacun des candidats. Une liste des candidats des réglages d'outil qui fournissent une réponse maximale et qui sont au moins sensibles à des sources de bruit peut ensuite être déterminée à partir des plans de surfaces de réponse. La liste des candidats peut être issue d'une région plus dense du plan de surface de réponse.