INTEGRATED MEASUREMENT SYSTEM

A measurement system is presented configured for integration with a processing equipment for applying optical measurements to a structure. The measurement system comprises: a support assembly for holding a structure under measurements in a measurement plane, configured and operable for rotation in a plane parallel to the measurement plane and for movement along a first lateral axis in said measurement plane; an optical system defining illumination and collection light channels of normal and oblique optical schemes and comprising an optical head comprising at least three lens units located in the illumination and collection channels; a holder assembly comprising: a support unit for carrying the optical head, and a guiding unit for guiding a sliding movement of the support unit along a path extending along a second lateral axis perpendicular to said first lateral axis; and an optical window arrangement comprising at least three optical windows made in a faceplate located between the optical head at a certain distance from the measurement plane. The optical windows are aligned with the illumination and collection channels for, respectively, propagation of illuminating light from the optical head and propagation of light returned from an illuminated region to the optical head, in accordance with the normal and oblique optical schemes. L'invention concerne un système de mesure configuré pour une intégration avec un équipement de traitement permettant d'appliquer des mesures optiques à une structure. Le système de mesure comprend : un ensemble maintien permettant de maintenir une structure pendant des mesures dans un plan de mesure, conçu pour et permettant une rotation dans un plan parallèle au plan de mesure et un mouvement le long d'un premier axe latéral dans ledit plan de mesure ; un système optique définissant des canaux de lumière d'éclairage et de collecte de procédés optiques normaux et obliques et comprenant une tête optique comprenant au moins trois unités de lentille situées dans les canaux d'éclairage et de collecte ; un ensemble support comprenant : une unité de maintien permettant de porter la tête optique et une unité de guidage permettant de guider un mouvement coulissant de l'unité de maintien le long d'un trajet s'étendant le long d'un second axe latéral perpendiculaire audit premier axe latéral ; et un agencement de fenêtre optique comprenant au moins trois fenêtres optiques réalisées dans une plaque frontale située entre la tête optique à un