METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT FOR OCT MEASUREMENT BEAM ADJUSTMENT

Diese Anmeldung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen von translatorischen Abweichungen zwischen dem Messkoordinatensystem (15) eines um zwei Achsen (C, D) verkippbaren Messspiegelscanners (13), der einen Messstrahl (12) zweidimensional ablenkt, und dem Bearbeitungskoordinatensystem (10) eines um zwei Achsen (A, B) verkippbaren Bearbeitungsspiegelscanners (7), der sowohl den vom Messspiegelscanner (13) abgelenkten Messstrahl (12) als auch einen Bearbeitungsstrahl (3) zweidimensional auf ein Werkstück (2) ablenkt, wobei der am Werkstück (2) reflektierte Messstrahl (12') den Pfad des einfallenden Messstrahls (12) zurückläuft und von einem ortsauflösenden Messsensor (17) erfasst wird, um ortsauflösende Informationen des Werkstücks (2) zu ermitteln, und wobei in einer Nullstellung des Messspiegelscanners (13) der reflektierte Messstrahl (12') im Sensorbild (18) des Messsensors (17) auf eine vorbekannte Bildposition (19) abgebildet wird, umfasst unterschiedliche Verfahrensschritte so, dass ein Bestimmen einer translatorischen Abweichung (Δx, Δy) zwischen dem Bearbeitungs- und dem Messkoordinatensystem (10, 15) anhand der im Sensorbild (18) des Messsensors (17) vorhandenen Abweichung zwischen der der Fokuslage des Bearbeitungsstrahls (3) entsprechenden vorbekannten Bildposition (19) und der aus den Höheninformationen erfassten Lochblendenmitte (20') erledigt wird. The invention relates to a method for ascertaining translational deviations between the measuring coordinate system (15) of a measuring mirror scanner (13), which can be tilted about two axes (C, D) and deflects a measuring beam (12) in two dimensions, and the processing coordinate system (10) of a processing mirror scanner (7), which can be tilted about two axes (A, B) and deflects both the measuring beam (12) deflected by the measuring mirror scanner (13) and a processing beam (3) in two dimensions onto a workpiece (2). The measuring beam (12') reflected on the workpiece (2) travels back on the path of the incident measuring beam (12) and is captured by a high-resolution measuring sensor (17) in order to determine high-resolution information about the workpiece (2). In a zero position of the measuring mirror scanner (13), the reflected measuring beam (12') is imaged in the sensor image (18) of the measuring sensor (17) onto a previously known image position (19). The method comprises different method steps, so that an ascertainment of a translational deviation (Δχ, Δy) between the processing coordinat