MICROELECTROMECHANICAL INERTIAL SENSOR COMPRISING A SUBSTRATE AND AN ELECTROMECHANICAL STRUCTURE ON THE SUBSTRATE

Es wird ein mikroelektromechanischer Inertialsensor mit einem Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten elektromechanische Struktur vorgeschlagen. Disclosed is a microelectromechanical inertial sensor comprising a substrate and an electromechanical structure on the substrate. L'invention...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KIESEL, Stefan, BOESER, Tobias
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS GYROSCOPIC INSTRUMENTS INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MEASURING MAGNETIC VARIABLES MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR NAVIGATION PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS SURVEYING TARIFF METERING APPARATUS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es wird ein mikroelektromechanischer Inertialsensor mit einem Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten elektromechanische Struktur vorgeschlagen. Disclosed is a microelectromechanical inertial sensor comprising a substrate and an electromechanical structure on the substrate. L'invention concerne un capteur inertiel micro-électromécanique pourvu d'un substrat et d'une structure électromécanique disposée sur ce substrat.