SNAPSHOT ELLIPSOMETER
A snapshot ellipsometer or polarimeter which does not require temporally modulated element (s) to measure a sample, but instead uses one or more spatially varying compensators, (eg. microretarder arrays and compound prisms), to vary the polarization state within a measurement beam of electromagnetic...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| container_end_page | |
|---|---|
| container_issue | |
| container_start_page | |
| container_title | |
| container_volume | |
| creator | HOVORKA, Griffin VAN DERSLICE, Jeremy A |
| description | A snapshot ellipsometer or polarimeter which does not require temporally modulated element (s) to measure a sample, but instead uses one or more spatially varying compensators, (eg. microretarder arrays and compound prisms), to vary the polarization state within a measurement beam of electromagnetic radiation. Analysis of the intensity profile of the beam after interaction with the spatially varying compensator (s ) and the sample allows sample parameters to be characterized without any moving optics.
L'invention concerne un ellipsomètre ou polarimètre d'instantané qui ne nécessite pas d'élément(s) temporellement modulé(s) pour mesurer un échantillon, mais utilise à la place un ou plusieurs compensateurs à variation spatiale, (par ex. des réseaux de microretardateurs et des prismes composés), pour faire varier l'état de polarisation à l'intérieur d'un faisceau de mesure de rayonnement électromagnétique. L'analyse du profil d'intensité du faisceau après interaction avec le ou les compensateur(s) à variation spatiale et l'échantillon permet à des paramètres d'échantillon d'être caractérisés sans aucune optique mobile. |
| format | Patent |
| fullrecord | <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_WO2020076281A1</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>WO2020076281A1</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_WO2020076281A13</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZBAN9nMMCPbwD1Fw9fHxDAj293UNcQ3iYWBNS8wpTuWF0twMym6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXx4f5GBkYGBuZmRhaGjobGxKkCAC0uIAk</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>SNAPSHOT ELLIPSOMETER</title><source>esp@cenet</source><creator>HOVORKA, Griffin ; VAN DERSLICE, Jeremy A</creator><creatorcontrib>HOVORKA, Griffin ; VAN DERSLICE, Jeremy A</creatorcontrib><description>A snapshot ellipsometer or polarimeter which does not require temporally modulated element (s) to measure a sample, but instead uses one or more spatially varying compensators, (eg. microretarder arrays and compound prisms), to vary the polarization state within a measurement beam of electromagnetic radiation. Analysis of the intensity profile of the beam after interaction with the spatially varying compensator (s ) and the sample allows sample parameters to be characterized without any moving optics.
L'invention concerne un ellipsomètre ou polarimètre d'instantané qui ne nécessite pas d'élément(s) temporellement modulé(s) pour mesurer un échantillon, mais utilise à la place un ou plusieurs compensateurs à variation spatiale, (par ex. des réseaux de microretardateurs et des prismes composés), pour faire varier l'état de polarisation à l'intérieur d'un faisceau de mesure de rayonnement électromagnétique. L'analyse du profil d'intensité du faisceau après interaction avec le ou les compensateur(s) à variation spatiale et l'échantillon permet à des paramètres d'échantillon d'être caractérisés sans aucune optique mobile.</description><language>eng ; fre</language><subject>COLORIMETRY ; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES ; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT ; MEASURING ; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS ; OPTICS ; PHYSICS ; RADIATION PYROMETRY ; TESTING</subject><creationdate>2020</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200416&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020076281A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,777,882,25545,76296</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20200416&DB=EPODOC&CC=WO&NR=2020076281A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>HOVORKA, Griffin</creatorcontrib><creatorcontrib>VAN DERSLICE, Jeremy A</creatorcontrib><title>SNAPSHOT ELLIPSOMETER</title><description>A snapshot ellipsometer or polarimeter which does not require temporally modulated element (s) to measure a sample, but instead uses one or more spatially varying compensators, (eg. microretarder arrays and compound prisms), to vary the polarization state within a measurement beam of electromagnetic radiation. Analysis of the intensity profile of the beam after interaction with the spatially varying compensator (s ) and the sample allows sample parameters to be characterized without any moving optics.
L'invention concerne un ellipsomètre ou polarimètre d'instantané qui ne nécessite pas d'élément(s) temporellement modulé(s) pour mesurer un échantillon, mais utilise à la place un ou plusieurs compensateurs à variation spatiale, (par ex. des réseaux de microretardateurs et des prismes composés), pour faire varier l'état de polarisation à l'intérieur d'un faisceau de mesure de rayonnement électromagnétique. L'analyse du profil d'intensité du faisceau après interaction avec le ou les compensateur(s) à variation spatiale et l'échantillon permet à des paramètres d'échantillon d'être caractérisés sans aucune optique mobile.</description><subject>COLORIMETRY</subject><subject>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</subject><subject>MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT</subject><subject>MEASURING</subject><subject>OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS</subject><subject>OPTICS</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>RADIATION PYROMETRY</subject><subject>TESTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2020</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZBAN9nMMCPbwD1Fw9fHxDAj293UNcQ3iYWBNS8wpTuWF0twMym6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXx4f5GBkYGBuZmRhaGjobGxKkCAC0uIAk</recordid><startdate>20200416</startdate><enddate>20200416</enddate><creator>HOVORKA, Griffin</creator><creator>VAN DERSLICE, Jeremy A</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20200416</creationdate><title>SNAPSHOT ELLIPSOMETER</title><author>HOVORKA, Griffin ; VAN DERSLICE, Jeremy A</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_WO2020076281A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; fre</language><creationdate>2020</creationdate><topic>COLORIMETRY</topic><topic>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</topic><topic>MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT</topic><topic>MEASURING</topic><topic>OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS</topic><topic>OPTICS</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>RADIATION PYROMETRY</topic><topic>TESTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>HOVORKA, Griffin</creatorcontrib><creatorcontrib>VAN DERSLICE, Jeremy A</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>HOVORKA, Griffin</au><au>VAN DERSLICE, Jeremy A</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>SNAPSHOT ELLIPSOMETER</title><date>2020-04-16</date><risdate>2020</risdate><abstract>A snapshot ellipsometer or polarimeter which does not require temporally modulated element (s) to measure a sample, but instead uses one or more spatially varying compensators, (eg. microretarder arrays and compound prisms), to vary the polarization state within a measurement beam of electromagnetic radiation. Analysis of the intensity profile of the beam after interaction with the spatially varying compensator (s ) and the sample allows sample parameters to be characterized without any moving optics.
L'invention concerne un ellipsomètre ou polarimètre d'instantané qui ne nécessite pas d'élément(s) temporellement modulé(s) pour mesurer un échantillon, mais utilise à la place un ou plusieurs compensateurs à variation spatiale, (par ex. des réseaux de microretardateurs et des prismes composés), pour faire varier l'état de polarisation à l'intérieur d'un faisceau de mesure de rayonnement électromagnétique. L'analyse du profil d'intensité du faisceau après interaction avec le ou les compensateur(s) à variation spatiale et l'échantillon permet à des paramètres d'échantillon d'être caractérisés sans aucune optique mobile.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext_linktorsrc |
| identifier | |
| ispartof | |
| issn | |
| language | eng ; fre |
| recordid | cdi_epo_espacenet_WO2020076281A1 |
| source | esp@cenet |
| subjects | COLORIMETRY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASURING OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS RADIATION PYROMETRY TESTING |
| title | SNAPSHOT ELLIPSOMETER |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-19T19%3A56%3A42IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=HOVORKA,%20Griffin&rft.date=2020-04-16&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EWO2020076281A1%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |