SNAPSHOT ELLIPSOMETER

A snapshot ellipsometer or polarimeter which does not require temporally modulated element (s) to measure a sample, but instead uses one or more spatially varying compensators, (eg. microretarder arrays and compound prisms), to vary the polarization state within a measurement beam of electromagnetic radiation. Analysis of the intensity profile of the beam after interaction with the spatially varying compensator (s ) and the sample allows sample parameters to be characterized without any moving optics. L'invention concerne un ellipsomètre ou polarimètre d'instantané qui ne nécessite pas d'élément(s) temporellement modulé(s) pour mesurer un échantillon, mais utilise à la place un ou plusieurs compensateurs à variation spatiale, (par ex. des réseaux de microretardateurs et des prismes composés), pour faire varier l'état de polarisation à l'intérieur d'un faisceau de mesure de rayonnement électromagnétique. L'analyse du profil d'intensité du faisceau après interaction avec le ou les compensateur(s) à variation spatiale et l'échantillon permet à des paramètres d'échantillon d'être caractérisés sans aucune optique mobile.