MAGNETIC SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC SENSOR

This magnetic sensor comprises: a thin-film magnet 20 in which two or more hard-magnetic-body layers 103a each configured from a hard magnetic body that includes Co, and a non-magnetic-body layer 103b that is configured from a non-magnetic body and has a thickness equal to or less than that of the hard-magnetic-body layers 103a, are arranged in an alternating manner, the thin-film magnet 20 having magnetic anisotropy in an in-plane direction; and a sensing element that is configured from a soft magnetic body and is arranged facing the thin-film magnet 20, the sensing element having a long-axis direction and a short-axis direction, the long-axis direction being oriented in the direction of a magnetic field generated by the thin-film magnet 20 and having axial magnetic anisotropy in the direction intersecting the long-axis direction, and the sensing element sensing the magnetic field using a magnetic impedance effect. Capteur magnétique comprenant : un aimant à film mince 20 dans lequel deux couches de corps magnétique dur 103a ou plus chacune configurées à partir d'un corps magnétique dur qui comprend du Co, et une couche de corps non magnétique 103b qui est configurée à partir d'un corps non magnétique et a une épaisseur inférieure ou égale à celle des couches de corps magnétique dur 103a, sont disposées de manière alternée, l'aimant à film mince 20 présentant une anisotropie magnétique dans une direction dans le plan ; et un élément de détection qui est configuré à partir d'un corps magnétique mou et qui est disposé face à l'aimant à film mince 20, l'élément de détection ayant une direction d'axe long et une direction d'axe court, la direction d'axe long étant orientée dans la direction d'un champ magnétique généré par l'aimant à film mince 20 et présentant une anisotropie magnétique axiale dans la direction croisant la direction d'axe long, et l'élément de détection détectant le champ magnétique à l'aide d'un effet d'impédance magnétique. 磁気センサは、Ｃｏを含む硬磁性体で構成される２層以上の硬磁性体層１０３ａと、非磁性体で構成され厚さが硬磁性体層１０３ａの厚さ以下である非磁性体層１０３ｂとが交互に積層され、面内方向に磁気異方性を有する薄膜磁石２０と、軟磁性体で構成されるとともに、薄膜磁石２０に対向して配置され、長手方向と短手方向とを有し、長手方向が薄膜磁石２０の発生する磁界の方向を向くとともに、長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子とを備える。