SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

A substrate processing apparatus including a frame, a SCARA arm mounted to the frame at a shoulder joint having two links with at least one end effector dependent therefrom, the links defining an upper arm and a forearm, each end effector pivotally joined to the forearm at a wrist to rotate about a wrist axis, and a drive section with at least one degree of freedom operably coupled to the arm to rotate the arm about a shoulder axis articulating extension and retraction, wherein the end effector is coupled to a wrist joint pulley so that extension and retraction effects rotation of the pulley and end effector as a unit about the wrist axis, and wherein a height of the end effector is within a stack height profile of the wrist joint so that a total stack height is sized to conform with and pass through a pass-through of a slot valve. L'invention concerne un appareil de traitement de substrat comprenant un bâti, un bras SCARA monté sur le bâti au niveau d'une articulation d'épaule comportant deux liaisons dotées d'au moins un effecteur terminal dépendant de cette dernière, les liaisons définissant un bras supérieur et un avant-bras, chaque effecteur terminal étant relié de manière pivotante à l'avant-bras au niveau d'un poignet, pour tourner autour d'un axe de poignet, et au niveau d'une section d'entraînement présentant au moins un degré de liberté et accouplée fonctionnellement au bras, pour faire tourner le bras autour d'une extension et d'une rétraction d'articulation d'axe d'épaule. L'effecteur terminal est accouplé à une poulie d'articulation de poignet pour que l'extension et la rétraction provoquent la rotation de la poulie et de l'effecteur terminal en tant qu'unité autour de l'axe de poignet. Et une hauteur de l'effecteur terminal se trouve à l'intérieur d'un profil de hauteur d'empilement de l'articulation de poignet pour qu'une hauteur totale d'empilement soit dimensionnée pour épouser un passage traversant d'une valve à fente et pour le traverser.