TRANSPORT SYSTEM

Embodiments herein relate to a transport system and a substrate processing and transfer (SPT) system. The SPT system includes a transport system that connects two processing tools. The transport system includes a vacuum tunnel that is configured to transport substrates between the processing tools. The vacuum tunnel includes a substrate transport carriage to move the substrate through the vacuum tunnel. The SPT system has a variety of configurations that allow the user to add or remove processing chambers, depending on the process chambers required for a desired substrate processing procedure. Des modes de réalisation de la présente invention concernent un système de transport et un système de traitement et de transfert de substrat (SPT). Le système SPT comprend un système de transport qui relie deux outils de traitement. Le système de transport comprend un tunnel sous vide qui est conçu pour transporter des substrats entre les outils de traitement. Le tunnel sous vide comprend un chariot de transport de substrat pour déplacer le substrat à travers le tunnel sous vide. Le système SPT présente une diversité de configurations qui permettent à l'utilisateur d'ajouter ou d'enlever des chambres de traitement, en fonction des chambres de traitement requises pour une procédure de traitement de substrat souhaitée.