GAS MIXING FOR FAST TEMPERATURE CONTROL OF A COOLING HOOD

The present invention relates to a system comprising a sub-system that is configured to change a thermal condition of a physical component from a set-point to a new set-point, wherein the sub-system comprises: a mixer operative to receive a first conditioning fluid having a first temperature and a s...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DE HOOGH, Joost, HUIJBERTS, Alexander, HEMSCHOOTE, Dries, VAN SANTVOORT, Johannes, LEROUX, Alain, VALENTIN, Christiaan, WIT, Robert, VAN DER MEULEN, Frits
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BLASTING CINEMATOGRAPHY COLD ROOMS COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT COVERED BY ANY OTHERSUBCLASS ELECTROGRAPHY HEAT PUMP SYSTEMS HEATING HOLOGRAPHY ICE-BOXES LIGHTING LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE MATERIALS THEREFOR MECHANICAL ENGINEERING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS REFRIGERATION OR COOLING REFRIGERATORS WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The present invention relates to a system comprising a sub-system that is configured to change a thermal condition of a physical component from a set-point to a new set-point, wherein the sub-system comprises: a mixer operative to receive a first conditioning fluid having a first temperature and a second conditioning fluid having a second temperature different from the first temperature, and operative to supply to the physical component a mix of the first conditioning fluid and the second conditioning fluid; and a controller configured to control the mixer in dependence on the new set-point. Also described is a method of operating a lithographic apparatus as well as a device manufactured using the system described herein or according to the methods described herein. La présente invention concerne un système comprenant un sous-système qui est conçu pour modifier une condition thermique d'un composant physique en le faisant passer d'un point de consigne à un nouveau point de consigne, le sous-système comprenant : un mélangeur servant à recevoir un premier fluide de conditionnement ayant une première température et un second fluide de conditionnement ayant une seconde température différente de la première température, et étant conçu pour fournir au composant physique un mélange du premier fluide de conditionnement et du second fluide de conditionnement ; et un dispositif de commande conçu pour régler le mélangeur en fonction du nouveau point de consigne. L'invention concerne également un procédé de fonctionnement d'un appareil lithographique ainsi qu'un dispositif fabriqué à l'aide du système ci-décrit ou selon les procédés ci-décrits.