FLOW CONTROL MODULE WITH A THERMAL MASS FLOW METER

A flow control module with a thermal mass flow meter is provided. The thermal mass flow meter facilitates measuring both a flow rate and a temperature of a fluid passing through the flow control module. Fluids may experience different flow characteristics at different temperature ranges. The flow control module includes a proportional control valve for selectively adjusting the flow rate of the fluid passing through the flow control module. Upon detecting that the temperature of the fluid is outside of a temperature range for the fluid, a controller is configured to load a different set of calibration parameters for controlling the operation of the proportional control valve to accommodate the different flow characteristics of the fluid at that temperature. Additionally, the controller is configured to detect bubbles using the thermal mass flow meter based upon the difference in thermal conductivity of gasses and liquids. L'invention concerne un module de régulation de débit doté d'un débitmètre massique thermique. Le débitmètre massique thermique facilite la mesure du débit ainsi que la température d'un fluide traversant le module de régulation de débit. Les fluides peuvent présenter différentes caractéristiques de débit à différentes plages de températures. Le module de régulation de débit comprend une vanne de régulation proportionnelle servant à régler sélectivement le débit du fluide passant à travers le module de régulation de débit. Lorsqu'il est détecté que la température du fluide est en dehors d'une plage de températures du fluide, un dispositif de commande est configuré pour charger un ensemble différent de paramètres d'étalonnage afin de commander le fonctionnement de la vanne de régulation proportionnelle de manière à s'adapter aux différentes caractéristiques de débit du fluide à cette température. De plus, le dispositif de commande est configuré pour détecter des bulles à l'aide du débitmètre massique thermique en fonction de la différence de conductivité thermique de gaz et de liquides.