APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING A POLY(P-XYLYLENE) FILM ON A COMPONENT

The disclosure provides an apparatus (2) for depositing poly(p- xylylene) onto a component (4). The apparatus comprises (i) a platen (20), (ii) an electrode (10), and (iii) a first feed means (16). The platen comprises an electrically conductive material, is electrically connected to an electrical p...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RODRIGUEZ, José Virgilio Anguita, SILVA, Sembukuttiarachilage Ravi Pradip
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The disclosure provides an apparatus (2) for depositing poly(p- xylylene) onto a component (4). The apparatus comprises (i) a platen (20), (ii) an electrode (10), and (iii) a first feed means (16). The platen comprises an electrically conductive material, is electrically connected to an electrical power supply (24) and is configured to support a component. The electrode is electrically insulated from the platen. The first feed means is configured to feed a poly(p- xylylene) monomer to the platen. Furthermore, the component either comprises an electrically conductive material or consists of an electrically insulating material. If the component consists of an electrically insulating material the electrical power supply is an alternating current (AC) power supply and generated an alternating electrical field which couples to the component, and is thereby able to penetrate through the component to create the plasma. La présente invention concerne un appareil (2) de dépôt de poly(p-xylylène) sur un composant (4). L'appareil comprend (i) une platine (20), (ii) une électrode (10), et (iii) un premier moyen d'alimentation (16). La platine comprend un matériau électro-conducteur, est reliée électriquement à une alimentation électrique (24) et est conçue pour supporter un composant. L'électrode est électriquement isolée de la platine. Le premier moyen d'alimentation est conçu pour alimenter un monomère de poly(p-xylylène) à la platine. En outre, le composant soit comprend un matériau électro-conducteur soit consiste en un matériau électriquement isolant. Si le composant consiste en un matériau électriquement isolant, l'alimentation électrique est une alimentation électrique en courant alternatif (CA) et un champ électrique alternatif est généré qui se couple au composant, et est ainsi apte à pénétrer à travers le composant pour créer le plasma.