PRECURSOR DELIVERY SYSTEM AND METHODS RELATED THERETO

Systems and methods used to deliver a processing gas having a desired diborane concentration to a processing volume of a processing chamber are provided herein. In one embodiment a system includes a borane concentration sensor. The borane concentration sensor includes a body and a plurality of windows. Here, individual ones of the plurality of windows are disposed at opposite ends of the body and the body and the plurality of windows collectively define a cell volume. The borane concentration sensor further includes a radiation source disposed outside of the cell volume proximate to a first window of the plurality of windows, and a radiation detector disposed outside the cell volume proximate to a second window of the plurality of windows. L'invention concerne des systèmes et des procédés utilisés pour distribuer un gaz de traitement, ayant une concentration de diborane souhaitée, dans un volume de traitement d'une chambre de traitement. Selon un mode de réalisation de l'invention, un système comprend un système comprend un capteur de concentration de borane. Le capteur de concentration de borane comprend un corps et une pluralité de fenêtres. Ici, des fenêtres individuelles parmi la pluralité de fenêtres sont disposées aux extrémités opposées du corps, et le corps et la pluralité de fenêtres définissent collectivement un volume de cellule. Le capteur de concentration de borane comprend en outre une source de rayonnement disposée à l'extérieur du volume de cellule à proximité d'une première fenêtre de la pluralité de fenêtres, et un détecteur de rayonnement disposé à l'extérieur du volume de cellule à proximité d'une deuxième fenêtre de la pluralité de fenêtres.