BAW RESONATOR WITH IMPROVED TOP ELECTRODE CONNECTION

A BAW resonator comprises a bottom electrode, a piezoelectric layer and a top electrode. A top electrode connection is arranged in a plane above the top electrode. For doing this a spacer is arranged on the top electrode. A capping layer is sitting on the spacer distant from the top electrode such that an air-filled gap to the top electrode is kept. The top electrode connection can now be arranged above the capping layer. An electrically conductive path connects the top electrode and the top electrode connection. Such a resonator needs only one lateral design and can provide a low-ohmic interconnection of resonators e.g. in a filter circuit. L'invention concerne un résonateur BAW comprenant une électrode inférieure, une couche piézoélectrique et une électrode supérieure. Une connexion d'électrode supérieure est agencée dans un plan au-dessus de l'électrode supérieure. À cet effet, un élément d'espacement est agencé sur l'électrode supérieure. Une couche de recouvrement est placée sur l'élément d'espacement à distance de l'électrode supérieure, afin de maintenir un vide rempli d'air vers l'électrode supérieure. La connexion de l'électrode supérieure peut désormais être agencée au-dessus de la couche de recouvrement. Un circuit conducteur connecte l'électrode supérieure et la connexion de l'électrode supérieure. Un tel résonateur ne requiert qu'une conception latérale et peut assurer une interconnexion de résonateurs à faible résistivité, par exemple dans un circuit de filtrage.