MULTI-STAGE VACUUM EQUIPMENT WITH STAGES SEPARATION CONTROLLED BY SHAPE MEMORY ALLOY ACTUATOR

The present invention relates to a multi-stage vacuum equipment, preferably a two-stage equipment, whose normal operation requires different pressures to be set, wherein the pressure variation may be achieved by a Shape Memory Alloy (SMA) wire movement of a suitable element. The invention further discloses a method for operating said multi-stage vacuum equipment controlled by a SMA actuator. La présente invention concerne un équipement sous vide à plusieurs étages, de préférence un équipement à deux étages, dont le fonctionnement normal nécessite différentes pressions à régler, la variation de pression pouvant être obtenue par un mouvement de fil en alliage à mémoire de forme (AMF) d'un élément approprié. L'invention concerne en outre un procédé de fonctionnement dudit équipement sous vide à étages multiples commandé par un actionneur AMF.