GAS FLOW RATE TESTING UNIT

This gas flow rate testing unit (1A) is disposed between a mass flow controller (20) and a vacuum pump (30) and tests the accuracy of the mass flow controller (20) on the basis of the time (t) it takes for the pressure measured by a pressure gauge (103) to change from a prescribed measurement start pressure (P1) to a prescribed second pressure value (P2) after first and second output valves (105, 106) are closed, a fluid temperature, and the volume from the output of the mass controller (20) to the inputs of the first and second output valves (105, 106), said gas flow rate testing unit being configured such that the first and second output valves (105, 106) are arranged in parallel, and an orifice 107 for adjusting the pressure of the gas for testing is disposed on the output side of the second output valve 106. La présente invention concerne une unité d'essai de débit de gaz (1A) qui est disposée entre un contrôleur de débit massique (20) et une pompe à vide (30) et teste la précision du contrôleur de débit massique (20) sur la base du temps (t) nécessaire pour que la pression mesurée par une jauge de pression (103) change d'une pression de début de mesure prescrite (P1) à une deuxième valeur de pression prescrite (P2) après que des première et deuxième vannes de sortie (105, 106) soient fermées, une température de fluide et le volume de la sortie du contrôleur de masse (20) aux entrées des première et deuxième vannes de sortie (105, 106), ladite unité d'essai de débit de gaz étant configurée de sorte que les première et deuxième vannes de sortie (105, 106) soient agencées en parallèle, et un orifice 107 pour ajuster la pression du gaz à tester est disposé sur le côté de sortie de la deuxième vanne de sortie 106. マスフローコントローラ（２０）と真空ポンプ（３０）の間に配設され、第１及び第２出力弁（１０５，１０６）を閉弁した後、圧力計（１０３）が計測する圧力が既定の測定開始圧力（Ｐ１）から所定の第２圧力値（Ｐ２）に変化する時間（ｔ）、流体の温度、及びマスフローコントローラ（２０）の出力から第１および第２出力弁（１０５，１０６）の入力までの容積から、マスフローコントローラ（２０）の精度を検定するガス流量検定ユニット（１Ａ）において、第１および第２出力弁（１０５，１０６）が並列に配置され、第２出力弁１０６の出口側に検定対象となるガスの圧力を調節するオリフィス１０７が配置されているガス流量検定ユニット（１Ａ）とする。