METHOD AND DEVICE FOR CHECKING A FOCUS POSITION OF A LASER BEAM IN RELATION TO A WORKPIECE

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Überprüfen einer Fokuslage eines insbesondere gepulsten Laserstrahls relativ zu einem Werkstück, umfassend: Fokussieren des Laserstrahls an einer Mehrzahl von Positionen entlang mindestens einer Bahnkurve auf dem Werkstück, insbesondere auf dem Werkstück und auf mindestens einem anderen, baugleichen Werkstück, Detektieren von Strahlung, die bei einer Wechselwirkung des Laserstrahls, insbesondere eines jeweiligen Laserpulses (L1, L2,..., L10), mit dem Werkstück an der zugehörigen Position erzeugt wird, Ermitteln von Signalwerten (S1, S2,..., S10), die der detektierten Strahlung an einer jeweiligen Position entsprechen, sowie Überprüfen der Fokuslage an mindestens einer der Positionen durch Vergleichen des Signalwerts (S8) an der Position mit einem aus den Signalwerten (S1, S2,..., S10) gebildeten Referenzwert (RM). Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Überprüfen einer Fokuslage eines gepulsten Laserstrahls relativ zu einem Werkstück. The invention relates to a method for checking a focus position of a particularly pulsed laser beam in relation to a workpiece, comprising: focussing the laser beam in a plurality of positions along at least one trajectory on the workpiece, particularly on the workpiece and on at least one other identically designed workpiece; detecting radiation generated during an interaction of the laser beam, particularly a respective laser pulse (L1, L2,..., L10), with the workpiece, in the associated position; determining signal values (S1, S2,..., S10) corresponding to the detected radiation in the respective position; and checking the focus position in at least one of the positions by comparing the signal value (S8) in the position with a reference value (RM) formed from the signal values (S1, S2,..., S10). The invention also relates to a device for checking a focus position of a pulsed laser beam in relation to a workpiece. L'invention concerne un procédé pour vérifier la position d'un foyer d'un rayon laser, notamment pulsé, par rapport à une pièce ouvrée, comprenant : concentration du rayon laser au niveau d'une pluralité de positions le long d'au moins une portion de trajectoire sur la pièce ouvrée, notamment sur la pièce ouvrée et sur au moins une autre pièce ouvrée de construction identique ; détection du rayonnement qui est générée lors d'une interaction du rayon laser, notamment d'une impulsion laser (L1, L2,..., L10) respective, avec la pièce ouvrée au niveau de la position a