SYSTEM AND METHOD FOR QUALIFYING A MULTI-LAYERED OPTICAL STACK FOR AN OPTICAL PROJECTION SYSTEM

Methods and systems for qualifying a multi-layered optical stack include providing the multi-layered optical stack including a first optical layer and a second optical layer. The first optical layer includes a first pair of fiducial marks and the second optical layer includes a second pair of fiduci...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DONG, Huihang, TEKOLSTE, Robert D, MERCIER, Thomas, XING, Wendong, WELCH, William Hudson, RIECK, Ryan
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTING COUNTING IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Methods and systems for qualifying a multi-layered optical stack include providing the multi-layered optical stack including a first optical layer and a second optical layer. The first optical layer includes a first pair of fiducial marks and the second optical layer includes a second pair of fiducial marks. Each of the first pair are spaced laterally from each of the second pair such that the first pair and the second pair are visible through the optical stack. A first angle defined between a first reference line connecting the first pair and a global reference line is determined. A second angle defined between a second reference line connecting the second pair and the global reference line is determined. The multi-layered optical stack is qualified for use in the optical projection system based on whether a difference between the first angle and the second angle is less than a predetermined threshold. Cette invention concerne des procédés et des systèmes pour qualifier un empilement optique multicouche, comprenant l'étape consistant à fournir l'empilement optique multicouche comprenant une première couche optique et une seconde couche optique. La première couche optique comprend une première paire de marques de repère et la seconde couche optique comprend une seconde paire de marques de repère. Chacune de la première paire est espacée latéralement de chacune de la seconde paire de telle sorte que la première paire et la seconde paire sont visibles à travers l'empilement optique. Un premier angle défini entre une première ligne de référence reliant la première paire et une ligne de référence globale est déterminé. Un second angle défini entre une seconde ligne de référence reliant la seconde paire et la ligne de référence globale est déterminé. L'empilement optique multicouche est qualifié pour être utilisé dans le système de projection optique sur la base du fait qu'une différence entre le premier angle et le second angle est inférieure ou non à un seuil prédéfini.