SPACE CHARGE INSENSITIVE ELECTRON GUN DESIGNS
Electron gun systems with a particular inner width dimension, sweep electrodes, or a combination of a particular inner width dimension and sweep electrodes are disclosed. The inner width dimension may be less than twice a value of a Larmor radius of secondary electrons in a channel downstream of a b...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Electron gun systems with a particular inner width dimension, sweep electrodes, or a combination of a particular inner width dimension and sweep electrodes are disclosed. The inner width dimension may be less than twice a value of a Larmor radius of secondary electrons in a channel downstream of a beam limiting aperture, and a Larmor time for the secondary electrons may be greater than 1 ns. The sweep electrode can generates an electric field in a drift region, which can increase kinetic energy of secondary electrons in the channel.
L'invention concerne des systèmes de canon à électrons ayant une dimension de largeur interne particulière, des électrodes de balayage, ou une combinaison d'une dimension de largeur interne particulière et d'électrodes de balayage. La dimension de largeur interne peut être inférieure à deux fois une valeur d'un rayon de Larmor d'électrons secondaires dans un canal en aval d'une ouverture de limitation de faisceau, et un temps de Larmor pour les électrons secondaires peut être supérieur à 1 ns. L'électrode de balayage peut générer un champ électrique dans une région de dérive, ce qui peut augmenter l'énergie cinétique d'électrons secondaires dans le canal. |
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