CHARGE CONTROL DEVICE FOR A SYSTEM WITH MULTIPLE ELECTRON BEAMS

Systems and methods to focus and align multiple electron beams are disclosed. A camera produces image data of light from electron beams that is projected at a fiber optics array with multiple targets. An image processing module determines an adjustment to a voltage applied to a relay lens, a field lens, or a multi-pole array based on the image data. The adjustment minimizes at least one of a displacement, a defocus, or an aberration of one of the electron beams. Using a control module, the voltage is applied to the relay lens, the field lens, or the multi-pole array. L'invention concerne des systèmes et des procédés pour concentrer et aligner de multiples faisceaux d'électrons. Une caméra produit des données d'image de lumière à partir de faisceaux d'électrons qui sont projetés sur un réseau de fibres optiques avec de multiples cibles. Un module de traitement d'image détermine un ajustement à une tension appliquée à une lentille de relais, à une lentille de champ ou à un réseau multipolaire sur la base des données d'image. L'ajustement minimise au moins l'un d'un déplacement, d'une défocalisation ou d'une aberration de l'un des faisceaux d'électrons. A l'aide d'un module de commande, la tension est appliquée à la lentille de relais, à la lentille de champ ou au réseau multipolaire.