COMBINED VAPOR AND/OR GAS CONCENTRATION SENSOR AND SWITCH

A combined vapor and/or gas concentration sensor and switch includes a resonating structure having a first side with a functionalized surface and a second side opposite the first side, a first resonant frequency of a first vibration mode, and a third resonant frequency of a third vibration mode. A direct current bias source is coupled to the resonating structure. A first AC voltage source is coupled to the drive electrode and provides the resonating structure, via the drive electrode, with a first voltage having an amplitude causing the first vibration mode of the resonating structure to exhibit a pull-in band and having a frequency adjacent the pull-in band of the first mode. A second AC voltage source is coupled to the drive electrode and provides the resonating structure, via the drive electrode, with a second voltage having a frequency corresponding to the third resonant frequency. A read-out circuit is coupled to the sensing electrode and is configured to determine a vapor and/or gas concentration based on a difference between the frequency of the second voltage supplied by the second AC voltage source and a frequency obtained by the read-out circuit. L'invention concerne un capteur et un commutateur combinés de concentration de vapeur et/ou de gaz, comprenant une structure résonante ayant un premier côté présentant une surface fonctionnalisée et un second côté opposé au premier côté, une première fréquence de résonance d'un premier mode de vibration, et une troisième fréquence de résonance d'un troisième mode de vibration. Une source de polarisation de courant continu est couplée à la structure résonante. Une première source de tension alternative est couplée à l'électrode de commande et fournit à la structure résonante, par l'intermédiaire de l'électrode de commande, une première tension ayant une amplitude amenant le premier mode de vibration de la structure résonante à présenter une bande de traction et ayant une fréquence adjacente à la bande d'extension du premier mode. Une seconde source de tension alternative est couplée à l'électrode d'attaque et fournit à la structure résonante, par l'intermédiaire de l'électrode d'attaque, une seconde tension ayant une fréquence correspondant à la troisième fréquence de résonance. Un circuit de lecture est couplé à l'électrode de détection et est configuré pour déterminer une concentration de vapeur et/ou de gaz sur la base d'une différence entre la fréquence de la seconde tension fournie par la seconde sou