VAPOR AND/OR GAS CONCENTRATION AND TEMPERATURE SENSOR

A vapor and/or gas concentration and temperature sensor includes a resonating structure having a first side with a functionalized surface and a second side opposite the first side, a first resonant frequency of a first vibration mode, and a second resonating frequency of a second vibration mode. Drive and sensing electrodes face the second side of the resonating structure. A direct current bias source is coupled to the resonating structure. A first AC voltage source provides the resonating structure with a first voltage having a frequency corresponding to the first resonant frequency. A second AC voltage source provides the resonating structure with a second voltage having a frequency corresponding to the second resonant frequency. A read-out circuit determines a vapor and/or gas concentration based on a difference between the frequency of the first voltage and a first read-out frequency and determines a temperature based on a difference between the frequency of the second voltage and a second read-out frequency. La présente invention concerne un capteur de concentration de vapeur et/ou de gaz et de température comprenant une structure résonante ayant un premier côté ayant une surface fonctionnalisée et un second côté opposé au premier côté, une première fréquence de résonance d'un premier mode de vibration, et une seconde fréquence de résonance d'un second mode de vibration. Des électrodes d'entraînement et de détection font face au second côté de la structure résonante. Une source de polarisation de courant continu est accouplée à la structure résonante. Une première source de tension alternative alimente la structure résonante en une première tension ayant une fréquence correspondant à la première fréquence de résonance. Une seconde source de tension alternative alimente la structure résonante en une seconde tension ayant une fréquence correspondant à la seconde fréquence de résonance. Un circuit de lecture détermine une concentration de vapeur et/ou de gaz sur la base d'une différence entre la fréquence de la première tension et une première fréquence de lecture et détermine une température sur la base d'une différence entre la fréquence de la seconde tension et une seconde fréquence de lecture.