DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE WITH A CARBON-CONTAINING COATING

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden von Graphen, Carbon-Nano-Röhrchen oder anderen, insbesondere Kohlenstoff enthaltenen Beschichtungen auf einem durch eine Eintrittsöffnung (12) in ein Reaktorgehäuse (1) eintretenden und durch eine Austrittsöffnung (12') aus dem Reaktorgehäu...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	JOUVRAY, Alexandre
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	ACTUATING-FLOATS BLASTING CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COCKS CYLINDERS DEVICES FOR VENTING OR AERATING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PISTONS SEALINGS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TAPS THEIR RELEVANT APPARATUS THERMAL INSULATION IN GENERAL TRANSPORTING VALVES WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden von Graphen, Carbon-Nano-Röhrchen oder anderen, insbesondere Kohlenstoff enthaltenen Beschichtungen auf einem durch eine Eintrittsöffnung (12) in ein Reaktorgehäuse (1) eintretenden und durch eine Austrittsöffnung (12') aus dem Reaktorgehäuse (1) austretenden, streifenförmigen Substrat (2), das in einer Transportrichtung von der Eintrittsöffnung (12) durch eine im Reaktorgehäuse (1) angeordnete, von einer Temperiereinrichtung (8) temperierte Prozesszone (5) hin zu einer Austrittsöffnung (12') transportiert wird.Erfindungsgemäß sind zwischen der Prozesszone (5) und der Eintrittsöffnung (12) und/oder der Austrittsöffnung (12') wärmetransporthemmende Mittel (14, 15, 16, 17) angeordnet, mit denen ein Wärmetransport von der Prozesszone (5) hin zur Eintrittsöffnung (12) oder der Austrittsöffnung (12') vermindert wird.Ferner sind Führungselemente (11) vorgesehen, um das Substrat (2) in unmittelbar an die Öffnungen (12, 12') angrenzenden Bereichen zu führen. The invention relates to a device for depositing graphene, carbon nano-tubes or other, in particular carbon-contained coatings on a strip-shaped substrate which enters a reactor housing through an inlet opening (12) and is guided through an outlet opening (12') which emerges from the reactor housing (1) and which is transported in a transport direction from the inlet opening (12) through a process area (5) tempered by a tempering device (8) and arranged in the reactor housing (1). According to the invention, heat-transport-inhibiting means (14, 15, 16, 17) are arranged between the process area (5) and the inlet opening and/or the outlet opening (12') by means of which a heat transport from the process area (5) is reduced from the inlet opening (12) or the outlet opening (12') is reduced. Also guide elements (11) are provided in order to guide the substrate (2) into regions directly adjacent to the openings (12, 12'). L'invention concerne un dispositif destiné à déposer du graphène, des nanotubes de carbone ou d'autres revêtements, contenant en particulier du carbone, sur un substrat (2) en forme de bande qui entre dans un boîtier de réacteur (1) par une ouverture d'entrée (12), qui sort du boîtier de réacteur (1) par une ouverture de sortie (12') et qui est transporté dans une direction de transport de l'ouverture d'entrée (12) vers une ouverture de sortie (12') en passant par une zone de traitement (5) disposée dans le boîtier de réacteur (1) et régulée e