TUBULAR LINEAR ACTUATOR, PATTERNING DEVICE MASKING DEVICE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

The present invention provides a tubular linear actuator, comprising: a tubular coil assembly comprising multiple tubular coils arranged next to each other in longitudinal direction of the tubular linear actuator and concentric with respect to a longitudinal axis of the tubular linear actuator, and a magnet assembly comprising a series of permanent magnets with alternating polarization direction extending in the longitudinal direction, wherein the magnet assembly is at least partially arranged in the coil assembly and movably with respect to the coil assembly, wherein the tubular coils comprise edge windings. La présente invention concerne un actionneur linéaire tubulaire, comprenant : un ensemble bobine tubulaire comprenant de multiples bobines tubulaires disposées les unes à côté des autres dans la direction longitudinale de l'actionneur linéaire tubulaire et concentriques par rapport à un axe longitudinal de l'actionneur linéaire tubulaire, et un ensemble aimant comprenant une série d'aimants permanents ayant une direction de polarisation alternée s'étendant dans la direction longitudinale, l'ensemble aimant étant au moins partiellement disposé dans l'ensemble bobine et mobile par rapport à l'ensemble bobine, les bobines tubulaires comprenant des enroulements de bord.