MEMS DEVICES

The present disclosure relates to a micro electro-mechanical system (MEMS) device comprising a fixed electrode, a moveable electrode that is moveable with respect to the fixed electrode and an output terminal for outputting a transducer output signal indicative of a capacitance between the fixed electrode and the moveable electrode. A package is provided which houses the fixed electrode and the moveable electrode, the package defining a first volume on a first side of the moveable electrode. The moveable electrode is moveable within the first volume in response to sound or pressure waves incident on the moveable electrode. A power dissipation element is disposed within the package. The power dissipation element is configured to receive a generated stimulus signal and to dissipate heat into the first volume so as to modulate the pressure of air within the first volume in accordance with the received generated stimulus signal. La présente invention concerne un dispositif de microsystème électromécanique (MEMS) comprenant une électrode fixe, une électrode mobile qui est mobile par rapport à l'électrode fixe et une borne de sortie pour délivrer en sortie un signal de sortie de transducteur indiquant une capacité entre l'électrode fixe et l'électrode mobile. Un boîtier contient l'électrode fixe et l'électrode mobile, le boîtier délimitant un premier volume sur un premier côté de l'électrode mobile. L'électrode mobile est mobile à l'intérieur du premier volume en réponse à des ondes sonores ou de pression incidentes sur l'électrode mobile. Un élément de dissipation d'énergie est agencé dans le boîtier. L'élément de dissipation d'énergie est conçu pour recevoir un signal de stimulus généré et pour dissiper la chaleur dans le premier volume de façon à moduler la pression d'air à l'intérieur du premier volume en fonction du signal de stimulus généré reçu.