POLYCRYSTALLINE SILICON ROD MANUFACTURING METHOD, AND REACTOR

[Problem] To develop a method for manufacturing a polycrystalline silicon rod using the Siemens process, wherein the jetting rate of a silicon deposition raw material gas from a gas supply nozzle is more greatly improved, thereby strengthening the force of the gas flow and achieving superior raw material gas circulation in an upper section and a lower section within a bell jar. [Solution] In a reactor for manufacturing a polycrystalline silicon rod, the polycrystalline silicon rod is manufactured by using, as at least one gas supply nozzle, a flow rate amplification nozzle provided with a function of amplifying the flow rate of the silicon deposition raw material gas supplied to the nozzle and jetting the gas. Le problème décrit par la présente invention est de développer un procédé de fabrication d'une tige de silicium polycristallin à l'aide du procédé Siemens, le taux d'éjection d'un gaz de matière première de dépôt de silicium provenant d'une buse d'alimentation en gaz étant considérablement améliorée, ce qui permet de renforcer la puissance du flux de gaz et d'obtenir une circulation de gaz de matière première optimale dans une section supérieure et une section inférieure à l'intérieur d'une cloche. La solution consiste en un réacteur de fabrication d'une tige de silicium polycristallin, la tige de silicium polycristallin étant fabriquée en utilisant, pour au moins une buse d'alimentation en gaz, une buse d'amplification de débit pourvue d'une fonction d'amplification du débit du gaz de matière première de dépôt de silicium fourni à la buse et projetant le gaz. 【課題】シーメンス法による多結晶シリコンロッドの製造において、ガス供給ノズルからのシリコン析出用原料ガスの噴出量をより大きく改善し、それによりガス流の勢いを強めて、ベルジャ内の上部と下部における原料ガスの循環性に優れた状態で、前記製造を実施する方法を開発すること。 【解決手段】 多結晶シリコンロッド製造用反応炉として、ガス供給ノズルの少なくとも１つとして、ノズルに供給されたシリコン析出用原料ガスが流量増加して吹き出す作用を備えた流量増幅ノズルを用いて、前記多結晶シリコンロッドの製造を行う。