SYSTEMS AND METHODS FOR DEPOSITING A THIN FILM ONTO A FLEXIBLE SUBSTRATE

Systems(100) and methods for depositing a thin film layer onto a flexible ferromagnetic substrate (120) include a porous block (140) in a deposition zone(130) and a plurality of magnets(170) embedded within the porous block(140). The magnets(170) provide a downward force on a flexible ferromagnetic substrate(120) being transported over the porous block(140), e.g., in a reel-to-reel system(100). Pressurized gas is forced upward through the porous block(140), providing an upward force that balances the downward force and supports the substrate at a desired height above the porous block(140). The substrate(120) is thus held flat during transport through the deposition zone(130), enabling uniform deposition of a thin film layer. L'invention concerne des systèmes (100) et des procédés pour déposer une couche de film mince sur un substrat ferromagnétique souple (120), comprenant un bloc poreux (140) dans une zone de dépôt (130) et une pluralité d'aimants (170) incorporés dans le bloc poreux (140). Les aimants (170) fournissent une force vers le bas sur un substrat ferromagnétique flexible (120) qui est transporté sur le bloc poreux (140), par exemple, dans un système à bobines (100). Du gaz sous pression est poussé vers le haut à travers le bloc poreux (140), fournissant une force ascendante qui équilibre la force vers le bas et supporte le substrat à une hauteur souhaitée au-dessus du bloc poreux (140). Le substrat (120) est ainsi maintenu à plat pendant le transport à travers la zone de dépôt (130), permettant ainsi un dépôt uniforme d'une couche de film mince.