METHODS, SYSTEMS, AND APPARATUS FOR MASS FLOW VERIFICATION BASED ON RATE OF PRESSURE DECAY

Mass flow verification systems and apparatus verify mass flow rates of mass flow controllers (MFCs) based on pressure decay principles. Embodiments include a location for coupling a calibrated gas flow standard or a MFC to be tested in a line to receive a gas flow from a gas supply; a control volume serially coupled to the location in the line to receive the gas flow; a flow restrictor serially coupled to the control volume; a pump serially coupled to the flow restrictor; and a controller adapted to allow the gas supply to flow gas through the mass flow control verification system to achieve a stable pressure in the control volume, terminate the gas flow from the gas supply, and measure a rate of pressure decay in the control volume over time. Numerous additional aspects are disclosed. L'invention concerne des systèmes et un appareil de vérification de débit massique qui permettent de vérifier les débits massiques de régulateurs de débit massique (MFC) selon des principes de diminution de pression. Des modes de réalisation comprennent : un emplacement permettant de coupler une norme de débit de gaz étalonnée ou un MFC à tester dans une ligne pour recevoir un débit de gaz d'une alimentation en gaz ; un volume de commande couplé en série à l'emplacement dans la ligne pour recevoir le débit de gaz ; un réducteur de débit couplé en série au volume de commande ; une pompe couplée en série au réducteur de débit ; et un dispositif de commande conçu pour permettre à l'alimentation en gaz de faire circuler le gaz à travers le système de vérification de régulation de débit massique afin d'obtenir une pression stable dans le volume de commande, d'arrêter le débit de gaz provenant de l'alimentation en gaz et de mesurer un taux de diminution de pression dans le volume de commande au fil du temps. De nombreux aspects supplémentaires sont présentés.