DIELECTRIC COMB FOR MEMS DEVICE

Microphones including a housing defining a cavity, a plurality of conductors positioned within the cavity, at least one dielectric bar positioned within the cavity, and a transducer diaphragm. The conductors are structured to move in response to pressure changes while the housing remains fixed. A fi...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PEDERSEN, Michael, SHAJAAN, Mohammad, NAWAZ, Mohsin, FÜRST, Claus, CECH, Jay, SCHAFER, David, SHUBHAM, Shubham
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Microphones including a housing defining a cavity, a plurality of conductors positioned within the cavity, at least one dielectric bar positioned within the cavity, and a transducer diaphragm. The conductors are structured to move in response to pressure changes while the housing remains fixed. A first conductor generates first electrical signals responsive to the pressure changes resulting from changes in an atmospheric pressure. A second conductor generates second electrical signals responsive to the pressure changes resulting from acoustic activity. The dielectric bar is fixed with respect to the cavity and remains fixed under the pressure changes. The dielectric bar is adjacent to at least one of the conductors. In response to an applied pressure that is an atmospheric pressure and/or an acoustic pressure, the transducer diaphragm exerts a force on the housing and displaces at least a portion of conductors with respect to the dielectric bar. Des microphones comprennent un boîtier délimitant une cavité, une pluralité de conducteurs positionnés à l'intérieur de la cavité, au moins une barre diélectrique positionnée à l'intérieur de la cavité, et un diaphragme de transducteur. Les conducteurs sont structurés pour se déplacer en réponse à des variations de pression tandis que le boîtier reste fixe. Un premier conducteur génère des premiers signaux électriques en réponse aux variations de pression résultant des variations de pression atmosphérique. Un second conducteur génère des seconds signaux électriques en réponse aux variations de pression résultant de l'activité acoustique. La barre diélectrique est fixe par rapport à la cavité et reste fixe lors des variations de pression. La barre diélectrique est adjacente à au moins l'un des conducteurs. En réponse à une pression appliquée qui est une pression atmosphérique et/ou une pression acoustique, le diaphragme de transducteur exerce une force sur le boîtier et déplace au moins une partie de conducteurs par rapport à la barre diélectrique.