DEBONDING SUPPORT DEVICE AND DEBONDING METHOD USING SAME

A debonding support device for supporting a process of debonding a carrier glass and an ultra-thin glass, which are bonded so as to form one glass laminate, includes a support region for supporting the glass laminate, wherein the support region includes at least two suction regions, each applying a different suction force per unit area, the at least two suction regions include debonding-start portion suction regions for suctioning a portion at which the debonding of the glass laminate starts, and the debonding-start portion suction region can comprise: a suction plate for applying the greatest suction force per unit area among the at least two suction regions; a vacuum pump connected to the suction plate so as to apply vacuum pressure to the suction plate; and a controller controlling the vacuum pump so as to regulate the vacuum pressure applied to the suction plate. L'invention concerne un dispositif d'aide au décollement pour aider à un processus de décollement d'un verre de support et d'un verre ultra-mince, qui sont liés de façon à former un stratifié de verre. Le dispositif d'aide au décollement comprend une région de soutien permettant de soutenir le stratifié de verre, la région de soutien comprenant au moins deux régions d'aspiration, appliquant chacune une force d'aspiration différente par unité de surface. Les au moins deux régions d'aspiration comprennent des régions d'aspiration de partie de début de décollement pour aspirer une partie au niveau de laquelle le décollement du stratifié de verre commence, et la région d'aspiration de partie de début de décollement peut comprendre : une plaque d'aspiration pour appliquer la plus grande force d'aspiration par unité de surface parmi les au moins deux régions d'aspiration; une pompe à vide reliée à la plaque d'aspiration de façon à appliquer une pression à vide à la plaque d'aspiration; et un dispositif de commande commandant la pompe à vide de façon à réguler la pression à vide appliquée à la plaque d'aspiration. 본딩되어 하나의 유리 접합체를 이루는 캐리어 유리와 초박막 유리를 디본딩하는 공정을 서포트하는 디본딩 서포트 장치는, 유리 접합체를 지지하기 위한 지지 영역을 포함하고, 상기 지지 영역은 서로 다른 단위 면적당 흡착력을 인가하는 적어도 2개의 흡착 영역들을 포함하고, 상기 적어도 2개의 흡착 영역들은 상기 유리 접합체의 디본딩이 개시되는 부위를 흡착하기 위한 디본딩 개시 부위 흡착 영역을 포함하고, 상기 디본딩 개시 부위 흡착 영역은 상기 적어도 2개의 흡착 영역들 중에서 가장 큰 단위 면적당 흡착력을 인가하는 석션 플레이트; 상기 석션 플레이트에 연결되어 상기 석션 플레이트에 진공압을 인가하는 진공 펌프; 및 상기 진공 펌프를 제어하여 상기 석션 플레이트에 인가되는 진공압을 조절하는 컨트롤러;를 포함할 수 있다.