METHODS AND SYSTEMS FOR MEASURING OPTICAL SHEAR OF BIREFRINGENT DEVICES BEYOND DIFFRACTION LIMIT

The methods and systems directly measure the optical shear angle and lateral displacement of a light beam passing through a birefringent device (212) with resolution beyond the diffraction limit. The system for measuring the shear angle comprises an illumination module (310), a polarization control unit (209) or polarizer (309), the said birefringent device (212), a lens module (215), and a data acquisition module (218) for recording the light intensity distribution. When the polarization control unit (209) is used, the polarization of the input light beam (201) from the illumination module (310) is controlled such that we can record the two light spots (206, 207) with orthogonal polarizations separately at different frames. When the polarizer (309) is used, with mixed polarizations of the input beam (201) from the illumination module (310), the polarizer (309) is placed before the data acquisition module (218) to record the two spots (206, 207) with orthogonal polarizations separately at different frames. Then it applys localization analysis to determine the central positions of the two spots (206, 207) with perpendicular polarizations and calculate the value of the shear angle/displacement between laterally sheared beams. This method can resolve the shear angle/displacement beyond optical diffraction limit. L'invention concerne des procédés et systèmes qui mesurent directement l'angle de dédoublement optique et le décalage latéral d'un faisceau lumineux passant à travers un dispositif biréfringent (212) avec une résolution au-delà de la limite de diffraction. Le système servant à mesurer l'angle de dédoublement comporte un module (310) d'éclairage, une unité (209) de commande de polarisation ou un polariseur (309), ledit dispositif biréfringent (212), un module (215) de lentille, et un module (218) d'acquisition de données servant à enregistrer la répartition d'intensité lumineuse. Lorsque l'unité (209) de commande de polarisation est utilisée, la polarisation du faisceau lumineux (201) d'entrée provenant du module (310) d'éclairage est commandée de façon à pouvoir enregistrer séparément les deux taches lumineuses (206, 207) présentant des polarisations orthogonales dans des trames différentes. Lorsque le polariseur (309) est utilisé, avec des polarisations mixtes du faisceau (201) d'entrée provenant du module (310) d'éclairage, le polariseur (309) est placé avant le module (218) d'acquisition de données pour enregistrer les deux taches (206, 207) présen