MONOLITHIC SENSOR ARRANGEMENT, MANUFACTURING METHOD AND MEASUREMENT METHOD

A monolithic gas sensor arrangement has a first capacitive transducer (11) comprising a first sensitive layer (17) and a second capacitive transducer (12) comprising a second sensitive layer (18), wherein the first and the second sensitive layer (17, 18) differ from each other in at least one property. The arrangement further comprises a readout circuit (30) that comprises a capacitance-to-digital converter (31), is electrically coupled to the first and the second transducer (11, 12) and is configured to generate a first measurement signal based on the first transducer (11) and a second measurement signal based on the second transducer (12). L'invention concerne un agencement de capteur de gaz monolithique comprenant un premier transducteur capacitif (11) comprenant une première couche sensible (17) et un second transducteur capacitif (12) comprenant une seconde couche sensible (18), la première et la seconde couche sensible (17, 18) différant l'une de l'autre dans au moins une propriété. L'agencement comprend en outre un circuit de lecture (30) qui comprend un convertisseur capacité-numérique (31), est couplé électriquement au premier et au second transducteur (11, 12) et est conçu pour générer un premier signal de mesure, sur la base du premier transducteur (11), et un second signal de mesure, sur la base du second transducteur (12).