BIPOLAR ELECTROSTATIC CHUCK HAVING ELECTRODE ON PORTION THEREOF

Disclosed is a bipolar electrostatic chuck. The bipolar electrostatic chuck includes: a base; a lower dielectric layer formed on an entire upper surface of the base; an edge electrode part formed along a rim on an upper side of the lower dielectric layer, the edge electrode part including a first electrode and a second electrode, which is spaced apart from the first electrode and has a polarity different from a polarity of the first electrode; and an upper dielectric layer formed on an upper side of the lower dielectric layer and the edge electrode part, wherein, in a plan view, the bipolar electrostatic chuck is divided into an edge electrode forming area, which corresponds to an area from edges to the edge electrode part, and a central area, which corresponds to an area other than the edge electrode forming area. L'invention concerne un mandrin électrostatique bipolaire. Le mandrin électrostatique bipolaire comprend : une base ; une couche diélectrique inférieure formée sur une surface supérieure entière de la base ; une partie d'électrode de bord formée le long d'un bord sur un côté supérieur de la couche diélectrique inférieure, la partie d'électrode de bord comprenant une première électrode et une seconde électrode, qui est espacée de la première électrode et a une polarité différente d'une polarité de la première électrode ; et une couche diélectrique supérieure formée sur un côté supérieur de la couche diélectrique inférieure et de la partie d'électrode de bord, dans une vue en plan, le mandrin électrostatique bipolaire étant divisé en une zone de formation d'électrode de bord, qui correspond à une zone allant des bords à la partie d'électrode de bord, et une zone centrale, qui correspond à une zone autre que la zone de formation d'électrode de bord.