METROLOGY METHOD AND APPARATUS WITH INCREASED BANDWIDTH

Disclosed is method of optimizing (300) bandwidth of measurement illumination for a measurement application (335;340;345), and an associated metrology apparatus. The method comprises performing (305) a reference measurement with reference measurement illumination having a reference bandwidth and performing (310;325) one or more optimization measurements, each of said one or more optimization measurements being performed with measurement illumination having a varied candidate bandwidth. The one or more optimization measurements are compared (320) with the reference measurement; and an optimal bandwidth for the measurement application is selected (330) based on the comparison. L'invention concerne un procédé d'optimisation de largeur de bande d'éclairage de mesure pour une application de mesure (335 ; 340 ; 345) ainsi qu'un appareil de métrologie associé. Le procédé consiste à effectuer (305) une mesure de référence avec un éclairage de mesure de référence ayant une largeur de bande de référence et à effectuer (310 ; 325) une ou plusieurs mesures d'optimisation, chacune desdites mesures d'optimisation étant effectuée avec un éclairage de mesure ayant une largeur de bande potentielle variée. La ou les mesures d'optimisation sont comparées (320) à la mesure de référence ; et une largeur de bande optimale pour l'application de mesure est sélectionnée (330) sur la base de la comparaison.