FARADAY ROTATOR, OPTICAL ISOLATOR, DRIVER LASER ARRANGEMENT AND EUV RADIATION GENERATION APPARATUS

Die Erfindung betrifft einen Faraday-Rotator (4), umfassend: ein scheibenförmiges magneto-optisches Festkörpermedium (6), eine Magnetanordnung (11) zur Erzeugung eines Magnetfelds (B) in dem magneto-optischen Festkörpermedium (6), eine Wärmesenke (9) mit einer Trägerfläche (10) für das magneto-optische Festkörpermedium (6), einen zwischen der Wärmesenke (9) und dem magneto-optischen Festkörpermedium (6) angebrachten Reflektor (13) zur Reflexion eines in einem Auftreffbereich (12) an einer ersten, der Trägerfläche (10) abgewandten Seite (6a) in das magneto-optische Festkörpermedium (6) eintretenden Laserstrahls (5), sowie eine Umlenkeinrichtung (18), die ausgebildet ist, den aus dem magneto-optischen Festkörpermedium (6) austretenden, reflektierten Laserstrahl (5) zurück zur ersten Seite (6a) des magneto-optischen Festkörpermediums (6) umzulenken. Die Umlenkeinrichtung (18) ist ausgebildet, den Laserstrahl (5) zurück zu einem mit dem Auftreffbereich (12) zumindest teilweise überlappenden, insbesondere identischen Auftreffbereich (12) an der ersten Seite (6a) des magneto-optischen Festkörpermediums (6) umzulenken. Die Erfindung betrifft auch einen optischen Isolator mit mindestens einem solchen Faraday-Rotator (4), eine Treiberlaseranordnung mit mindestens einem solchen optischen Isolator sowie eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung mit einer solchen Treiberlaseranordnung. The invention relates to a Faraday rotator (4), comprising: a disk-shaped magneto-optic solid-state medium (6), a magnet arrangement (11) for generating a magnetic field (B) in the magneto-optic solid-state medium (6), a heatsink (9) with a support area (10) for the magneto-optic solid-state medium (6), a reflector (13), attached between the heatsink (9) and the magneto-optic solid-state medium (6), for reflecting a laser beam (5) that enters the magneto-optic solid-state medium (6) at an impact region (12) at a first side (6a) facing away from the support area (10), and a deflection device (18) which is embodied to deflect the reflected laser beam (5) emerging from the magneto-optic solid-state medium (6) back to the first side (6a) of the magneto-optic solid-state medium (6). The deflection device (18) is embodied to deflect the laser beam (5) back to an impact region (12) at the first side (6a) of the magneto-optic solid-state medium (6), this impact region at least partly overlapping with, in particular being identical to, the impact region (12). The invention also relates to an opti