BRIDGING FRONT OPENING UNIFIED POD (FOUP)

A bridging front opening unified pod (FOUP) is provided herein. In some embodiments, the bridging FOUP includes a bottom floor, side walls, a ceiling and a back wall that forms an enclosure volume having a front opening, a plurality of supports coupled to the side walls and extending into the enclosure volume, wherein the plurality of supports are configured to support a substrate carrier, a base plate assembly comprising a base plate coupled to the bottom floor, a pair of L-brackets coupled to the base plate, wherein each L-brackets includes a short lift pin, a long lift pin coupled to the base plate, wherein the height of the short lift pins and the long lift pin is selected such that the substrate is kept level when disposed thereon, and a docking support disposed proximate the base plate assembly and configured to support a substrate carrier. L'invention concerne un module unifié à ouverture frontale (FOUP) de liaison. Dans certains modes de réalisation, le FOUP de liaison comprend un plancher inférieur, des parois latérales, un plafond et une paroi arrière qui forme un volume d'enceinte ayant une ouverture avant, une pluralité de supports reliés aux parois latérales et s'étendant dans le volume d'enceinte, la pluralité de supports étant conçus pour porter un support de substrat, un ensemble plaque de base comprenant une plaque de base reliée au plancher inférieur, une paire de crochets en L reliés à la plaque de base, chaque crochet en L comprenant une broche de levage courte, une broche de levage longue reliée à la plaque de base, la hauteur des broches de levage courtes et longues étant choisie de telle sorte que le substrat est maintenu à niveau lorsqu'il est disposé dessus, et un support d'amarrage disposé à proximité de l'ensemble plaque de base et conçu pour porter un support de substrat.