LANTHANOID COMPOUND, LANTHANOID-CONTAINING THIN FILM AND FORMATION OF LANTHANOID-CONTAINING THIN FILM USING THE LANTHANOID COMPOUND

To provide a lanthanoid compound for forming a lanthanoid-containing thin film that has high stability and a melting point lower than the use temperature, and therefore can be used in a liquid state; and a film formation process. SOLUTION TO THE PROBLEM: The lanthanoid compound according to the present invention is a compound represented by the following general formula (1) or the following general formula (2). Ln(R1xCp)2(A)y... (1) Sm(R2xCp)2(A)y... (2) (In the general formula (1), Ln is Nd, Eu, Dy, Tm, or Yb, R1 is independently Me, Et, nPr,iPr, nBt, sBu, iBu, or tAm, Cp is cyclopentadienyl, A is a linear or cyclic hydrocarbon containing oxygen, sulfur, phosphorus, or nitrogen, x is an integer of 2 to 3, and y is 0 to 2. In the general formula (2), R2 is independently nPr,iPr, nBt, sBu, iBu, or tAm.) Le problème à résoudre par la présente invention concerne la fourniture d'un composé lanthanoïde capable de former un film mince contenant un lanthanide ayant une stabilité élevée et un point de fusion inférieur à la température d'utilisation, et pouvant donc être utilisé dans un état liquide; ainsi qu'un procédé de formation de film. La solution selon la présente invention concerne un composé lanthanoïde représenté par la formule générale suivante (1) ou la formule générale suivante (2). Ln(R1xCp)2(A)y... (1) Sm(R2xCp)2(A)y... (2) (Dans la formule générale (1), Ln représente Nd, Eu, Dy, Tm, ou Yb, R1 représente indépendamment Me, Et, nPr,iPr, nBt, sBu, iBu ou tAm, Cp représente un cyclopentadiényle, A est un hydrocarbure linéaire ou cyclique contenant de l'oxygène, du soufre, du phosphore ou de l'azote, x est un nombre entier de 2 à 3, et y vaut de 0 à 2. Dans la formule générale (2), R2 est indépendamment nPr,iPr, nBt, sBu, iBu ou tAm.)