METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL LAYER STRUCTURE

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Schichtstruktur, umfassend die Schritte - Bereitstellen einer ersten Schutzschicht, wobei die erste Schutzschicht mit zumindest einem Zugang strukturiert ist, welche mit Opferschichtmaterial gefüllt ist, - Aufbringen einer Funktionsschicht-Schichtstruktur, umfassend zumindest eine Funktionsschicht, auf die erste Schutzschicht, - Herstellen eines ersten Zugangs in der Funktionsschicht-Schichtstruktur zum zumindest einen Zugang der ersten Schutzschicht, so dass eine Breite des ersten Zugangs in der Funktionsschicht-Schichtstruktur in zumindest einer der Schichten der Funktionsschicht-Schichtstruktur größer oder gleich der Breite des zumindest einen Zugangs der ersten Schutzschicht ist, - Aufbringen einer zweiten Schutzschicht auf die Funktionsschicht-Schichtstruktur derart, dass der erste Zugang mit Material der zweiten Schutzschicht gefüllt ist, - Strukturieren der zweiten Schutzschicht und des gefüllten ersten Zugangs mit einem zweiten Zugang zur ersten Schutzschicht, wobei der zweite Zugang die gleiche oder eine kleinere Breite als der erste Zugang aufweist, sodass im Fall einer kleineren Breite des zweiten Zugangs die Wände des zweiten Zugangs durch Material der zweiten Schutzschicht gebildet werden, - Entfernen von Opferschichtmaterial zumindest in dem Zugang der ersten Schutzschicht und - Entfernen von Schutzschichtmaterial zumindest in dem zweiten Zugang. The invention relates to a method for producing a micromechanical layer structure, having the steps of: - providing a first protective layer, said first protective layer being structured with at least one access which is filled with a sacrificial layer material, - applying a functional-layer layer structure, comprising at least one functional layer, onto the first protective layer, - producing a first access in the functional-layer layer structure in order to form at least one access of the first protective layer such that the width of the first access in the functional-layer layer structure in at least one of the layers of the functional-layer layer structure is greater than or equal to the width of the at least one access of the first protective layer, - applying a second protective layer onto the functional-layer layer structure such that the first access is filled with material of the second protective layer, - structuring the second protective layer and the filled first access with a second access to the first protective