REMOVAL OF ELECTROPLATING BATH ADDITIVES

In one example, an electroplating system comprising a bath reservoir having a first inlet for feeding fresh electrolyte solution into the bath reservoir and a first outlet for bleeding used electrolyte solution out of the bath reservoir, a second inlet for receiving recycled electrolyte solution into the bath reservoir, and a second outlet for discharge of electrolyte solution from the bath reservoir. A plating cell is providing for electroplating an object. An extraction column extracts byproducts generated by the plating cell. A first particle filter is disposed in a fluid pathway between the second outlet of the bath reservoir and the inlet of the plating cell, and a second particle filter is disposed in a fluid pathway between an outlet of the extraction column and the second inlet of the bath reservoir. Dans un exemple, la présente invention concerne un système d'électrodéposition comprenant un réservoir de bain ayant une première entrée permettant d'introduire une solution d'électrolyte fraîche dans le réservoir de bain et une première sortie permettant de vidanger la solution d'électrolyte usagée hors du réservoir de bain, une seconde entrée permettant de recevoir la solution d'électrolyte recyclée dans le réservoir de bain et une seconde sortie permettant d'évacuer la solution d'électrolyte du réservoir de bain. Une cellule de placage permet de revêtir un objet par électrodéposition. Une colonne d'extraction extrait des sous-produits, produits par la cellule de placage. Un premier filtre à particules est disposé le long d'un circuit fluidique entre la seconde sortie du réservoir de bain et l'entrée de la cellule de placage, et un second filtre à particules est disposé le long d'un circuit fluidique entre une sortie de la colonne d'extraction et la seconde entrée du réservoir de bain.