CORROSION-RESISTANT TEMPERATURE SENSOR PROBE

A temperature sensor probe having a shaft is described. The shaft is made from a material that is corrosion resistant to plasma and remnants of a plasma process. The shaft extends over a portion of a metal layer, which forms a tip of the temperature sensor probe. The shaft further extends over a sleeve of the temperature sensor probe, a portion of a fiber optic medium of the temperature sensor probe and a portion of the fiber bundle housing of the temperature sensor probe. The material of the shaft increases a number of active processing hours for which the shaft is used within a plasma chamber during the plasma process. L'invention décrit une sonde de capteur de température ayant une tige. La tige est constituée d'un matériau qui est résistant à la corrosion au plasma et aux résidus d'un traitement par plasma. La tige s'étend au-dessus d'une partie d'une couche de métal, laquelle forme une pointe de la sonde de capteur de température. La tige s'étend encore au-dessus d'une gaine de la sonde de capteur de température, d'une partie d'un support en fibres optiques de la sonde de capteur de température et d'une partie du logement de faisceau de fibres de la sonde de capteur de température. Le matériau de la tige accroît un nombre d'heures de traitement actif pour lesquelles la tige est utilisée dans une chambre à plasma durant le traitement par plasma.